特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

前言：一個(gè)工藝技術(shù)**的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過(guò)程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。
一：概念
特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過(guò)管道、**次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。
其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→vmb→用氣點(diǎn)
二：分類
特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。
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