伯東考夫曼離子源e-MissionFilament

價(jià)格貨期電議
離子源 e-mission
上海伯東美國(guó) kri 考夫曼離子源提供多個(gè)類(lèi)型的低能量高密度的電子源, 從簡(jiǎn)單的熱電子燈絲模式到中空陰極模式,典型應(yīng)用在等離子和離子工藝中的陰極和陽(yáng)極中和器, 通過(guò)專(zhuān)利技術(shù)完成電子的發(fā)射, 測(cè)量和束流控制, 廣泛應(yīng)用于對(duì)靜電敏感和電介質(zhì)材料領(lǐng)域.
離子源 e-mission 模組化
模組化的設(shè)計(jì)有助于快速的更換維護(hù), 節(jié)省成本. 耗材能在幾分鐘內(nèi)進(jìn)行更換, 超低的成本花費(fèi), 而且容易升級(jí), 比如可以將浸入式燈絲的模式升級(jí)成非浸入式燈絲的模式.
離子源 e-mission 功率控制
e-mission 功率發(fā)生器通過(guò)嚴(yán)格的校準(zhǔn), 保障功率的發(fā)生, 測(cè)量和束流的控制, 因?yàn)殡娮邮鞯目煽匦钥梢詫?shí)現(xiàn)負(fù)電荷的穩(wěn)定性和可靠性.
離子源 e-mission 模組
e-mission 模組的選擇取決于工藝目標(biāo), 真空系統(tǒng), 運(yùn)行周期和工藝材料.
離子源 e-mission 應(yīng)用
通常被用于等離子器件的理化工藝, 離子束源的中和器以及安裝在磁控管陰極去改善濺射的能量, 同時(shí)也應(yīng)用于分析儀器的電子源, 具體如下:
離子束中和器
等離子發(fā)生的離化
分析儀器中正相偏壓電荷的中和
磁控濺射中電子流的增強(qiáng)
離子源 e-mission filament 燈絲型
燈絲電子源是一款成本低廉的陰極和中和器, 燈絲被加熱到很高的溫度產(chǎn)生可發(fā)射的熱電子. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單容易安裝和使用, 可快速更換. 特別適合于快速回圈的工藝和執(zhí)行時(shí)間較短的真空設(shè)備.
kri 考夫曼離子源 e-mission filament
model
hfx
shc 1000
dshc 1000
cathode
yes
yes
yes
neutralizer
yes
yes
yes
orientation
vertical / horizontal
vertical / horizontal
vertical / horizontal
regulation
emission
emission
emission
1978 年 dr. kaufman 博士在美國(guó)創(chuàng)立 kaufman & robinson, inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源,霍爾離子源和射頻離子源. 美國(guó)考夫曼離子源歷經(jīng)40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)專(zhuān)利. kri 離子源廣泛用于離子清洗 pc, 離子蝕刻 ibe, 輔助鍍膜 ibad, 離子濺射鍍膜 ibsd 領(lǐng)域, 上海伯東是美國(guó)考夫曼離子源中國(guó)總代理.
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