KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220濺射沉積 ZrAlN薄膜

合金化是提高過(guò)渡族金屬氮化物薄膜硬度及抗磨損、耐腐蝕性能的有效方法。al是常用合金化元素，能提高薄膜的硬度和抗高溫氧化性能。
北京某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室在對(duì)硬韌 zraln 薄膜及薄膜力學(xué)性能研究中, 采用伯東kri考夫曼射頻離子源rfcip220 輔助磁控濺射沉積的方法在鈦合金和單晶 si 上沉積不同 al 含量的zraln 薄膜.
伯東kri射頻離子源rficp220技術(shù)參數(shù):
離子源型號(hào)
rficp220
discharge
rficp射頻
離子束流
>800 ma
離子動(dòng)能
100-1200 v
柵直徑
20 cm φ
離子束
聚焦, 平行, 散射
流量
10-40 sccm
通氣
ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他
典型壓力
< 0.5m torr
長(zhǎng)度
30 cm
直徑
41 cm
中和器
lfn 2000
*可選:燈絲中和器;可變長(zhǎng)度的增量
試驗(yàn)中, 采用伯東kri考夫曼射頻離子源rfcip220輔助磁控濺射沉積的方法獲得均勻致密、大面積的 zraln 薄膜, 好的對(duì) zraln 薄膜進(jìn)行研究.
kri離子源的特功能實(shí)現(xiàn)了好的性能,增強(qiáng)的性和新穎的材料工藝.kri離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性,而這些特性在不使用kri離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.
因此, 該研究項(xiàng)目才采用kri考夫曼射頻離子源rfcip220輔助濺射沉積工藝.
伯東是德國(guó)pfeiffer真空泵,檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空計(jì),美國(guó)kri考夫曼離子源,美國(guó)hva真空閥門(mén),美國(guó)intest高低溫沖擊測(cè)試機(jī),美國(guó)ambrell感應(yīng)加熱設(shè)備和日本ns離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口的代理商.
伯東企業(yè)（上海）有限公司專(zhuān)注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,intest等