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多晶金剛石拋光液多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時(shí)不易對(duì)研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷。主要應(yīng)用于藍(lán)寶石襯底的研磨、led芯片的背部減薄、光學(xué)晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。氧化硅拋光液氧化硅拋光液(cmp拋光液)是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石片等的拋光加工。
依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等,對(duì)硅單晶片化學(xué)機(jī)械拋光(cmp)機(jī)理、動(dòng)力學(xué)控制過(guò)程和影響因素研究標(biāo)明,化拋劑價(jià)格,化學(xué)機(jī)械拋光是一個(gè)復(fù)雜的多相反應(yīng),它存在著兩個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程:(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過(guò)程使未反應(yīng)的硅單晶重新出來(lái)的動(dòng)力學(xué)過(guò)程。它是控制拋光速率的另一個(gè)重要過(guò)程。硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過(guò)程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,化拋劑哪家好,必須使拋光過(guò)程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,馬鞍山化拋劑,則表面產(chǎn)生高損傷層。
(1)在連續(xù)性的批量化學(xué)拋光作業(yè)中,要獲得比較穩(wěn)定的拋光效果,就必須對(duì)受熱易分解或消耗量大的溶液組分進(jìn)行及時(shí)的補(bǔ)充和調(diào)整。何時(shí)補(bǔ)加,多長(zhǎng)時(shí)間補(bǔ)一次,化拋劑銷售,每次補(bǔ)多少,均要由具體情況(如拋光制件的多少,拋光溶液的組成等)酌情控制。直觀的依據(jù)是拋光表面的光亮度變化情況,即依拋光效果來(lái)調(diào)整。
(2)化學(xué)拋光液的酸值一般應(yīng)穩(wěn)定在1.5~2.5之間。
(3)化學(xué)拋光作業(yè)中,拋光溶液中的鐵含量呈累積性的增加。當(dāng)鐵含量過(guò)高時(shí),拋光質(zhì)量及工效均會(huì)相應(yīng)降低。有文獻(xiàn)指出,補(bǔ)加一些易損耗組分后,若溶液的拋光效果還不能明顯改善時(shí),即可認(rèn)為該溶液中的鐵含量過(guò)高。這時(shí)就應(yīng)該棄舊換新了。比較成熟的經(jīng)驗(yàn),是拋光溶液中鐵的含量不得高于35g/l
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